项目流程大环境
某中型半导体设备营造机构坐落长角形中北部,主要的生产的晶圆和心片。在的生产的操作过程中,晶圆切和cnc精密机械加工分阶段诞生海量磨细液废水治理 ,日访问量废气量约50吨。鉴于废水治理 中包含的高浓硫酸浓度悬浮按钮物、金属质阳离子及生产增多剂,直观废气会对环保会导致情况严重造成的污染,机构急缺开发职业治理 安全设施。
焦化废水成份及从何而来
精磨液工业废水常见收入于晶圆处理中的电学机器cnc精密机械加工(CMP)制作工序,常见污染问题物其中包括:
浮悬颗粒状物
:二硫化硅、硫化铝等考虑粒状,颗粒直径在0.1-1μm,密度高达hg2000mg/L。
金属件阴离子
:铜、铁、锌等,存在增加光泽垫磨花及晶圆表面层不锈钢层,铜阴阳离子质量浓度约50mg/L。
生物碳增加剂
:涉及的表面几丁质酶剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
腐蚀性性化合物
:pH值振幅大,往往在2-11中间。
操作标准流程标准流程
根据生产废水形态,采用了“预正确治疗+生化学+高度正确治疗”结构工艺技术:
调池
:平均地表水供水量,加入酸碱平衡调控pH至比较适中。
混凝土乳浊液
:污泥脱水PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),除掉浮悬物和悬浊液,沉降后SS除掉率>90%。
崔化脱色
:采取Fenton化学制剂(H₂O₂+Fe²⁺)分解有机物增添剂,COD取除率达60%。
生物工程处置
:MBR膜生态学反馈器进一个步骤光降解用不完氮化合物物,COD降落到100mg/L之下。
阴阳离子传递
:上用硅胶粘合剂离心分离铜亚铁离子,喷水铜浓度<0.5mg/L。
砂滤+亲水性炭过虑
:狠抓喷水浑浊,符合《污水管道綜合排卸规范单位》(GB8978-1996)三级规范单位。
终于治疗效果
软件作业稳定性高后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铁离子<0.3mg/L。
回收率达40%,残余不合格直接排放标准,年减小生活污水直接排放标准1.八万吨。
整理价格约15元/吨,远达不到领域平衡。