该晶圆打造厂是在豫东各地,重要产出84英寸半导体材料晶圆,平均工业废水产生量约800吨。鉴于产出方式中应用大批氢佛酸去晶圆蚀刻,形成工业废硫酸铜溶液氟化物含量高达到200-300mg/L,远超国家产生标准规定(10mg/L以下的)。
工业废水因素及来历
废污水主要出自于四个过程:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高浓硫酸浓度氟化物(HF)、盐酸及大量巨资属
催化机器cnc精密机械加工(CMP)污水
:含纳米技术级硅粒状、设计络合剂
设施设备进行维护清洁电镀废水
:含异丙醇、氧化还原电位等有机化学物
操作技术操作流程
应用"生物学发展+水泥混凝土发展+强度过滤清洁"三级考试补救体统:
考试内容一级整理
:污泥脱水氯化钙和氢被氧化钙,转变成氟化钙沉积,氟化物清理率达85%
三级治理
:增加PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),出掉胶体溶液态水有机废气
两级处置
:使用多有机溶剂生物炭过滤皿和生物炭吸,出水出水氟化物酸度平稳在8mg/L这
关健仪器也包括:pH自功转换系统软件、斜管乳浊液池、板框厢式压滤机(污泥处理过滤)。
终于特效
楼盘启动五年期监测器信息体现 :
氟化物总值氨水浓度:7.2mg/L(高于国家地区准则)
COD清理率:92%
活性污泥水分含量率:≤65%
年回收利于氟化钙副新产品约150吨,构建产品化利于