半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体器件顶级首测配建涉重工业废水——MVR直接配置零排顶目
工作底色
半导体芯片芯片高端定制公测该该项目,占比150每立方米/天,是首支半导体芯片芯片公测相互配套涉重废污水零排该该项目。公测阶段的镀镍、镀铜、引线架构刷洗会生产含镍含铜废污水,产业园规范要求"无尾水外排",产水全部都使用于产线。
水质量的特征与关键点
工业废水以含镍为之主要(溶液浓度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH起伏大(2–12),还光刻胶农药残留的一些有机会物。测封厂用地紧,标准要求外理公共设施占地赔偿小;零排寓意着浓水不是土石方工程多,肯定地方挥发晶体反馈控制。
进行处工院艺路线规划
总体走"分质整理 → 特征提取除杂 → 生物积累除镍 → 活性炭过滤 → UF+有级RO → MVR强迫配置挥发 → 蒸汽加热水造纸废水处理":
含镍线先调pH到10–11,加药系统氢腐蚀的钠生成二维码Ni(OH)₂析出,后加混炼钠宽度捕集器稳定度镍(混炼镍Ksp比氢腐蚀的镍更小,把镍压到0.1毫克/升下面);
沉淀出的出液经多物质滤水装置+安全滤水装置后进UF,再进4级RO,产水直接的回产线家电清洗;
RO浓水(含盐+多余天价属)进MVR强迫间歇汽化器,强迫间歇能扛高含盐结渣,汽化器附带免费在线的洗涤,不容易堵;
MVR空调多效蒸发器水造成使用水槽,多效蒸发残液委外填埋或是危险废物妥善处理,一整个工业园区无气态外排。
最为关键的设备显著优点这说明
MVR立即配置相对于平凡降膜化掉,配置空气流速高、热传导面难于结镍盐/碳酸盐垢,非常适合公测那样"排水量往往并不大但水体杂"的场境;混合式化撬装设计方式征地赔偿比经典化掉塘+多效化掉方式小60%上文;臭味侧一体化微生物滤池,把调试池和淤泥间的臭味抽取后挥发成CO₂和水,以防公测厂相邻办公楼区的腥臭味客户投诉。
处里特效与社会效益
溢水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,相较于《真空镀膜空气工业废气污染物规范规范》表三;完全150m³米/天产水中水回用于公测产线难以清理,用于等量新鮮水;危险废弃物(蒸馏残液+工业废水)量比以往"沉定+污染物规范"模式切换减约70%。对富士康侧,公测顶目环保型审批卡点被揍通;